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滲氮工藝，是在一定離子氮化爐生產溫度下、一定介質中使氮原子滲入工件表層的化學熱處理工藝。氮化工藝具有處理溫度低，工藝周期長的特點，經過氮化處理的零件硬化層淺，表面硬度高，主要應用于承受載荷較低的零件。
主要的滲氮工藝有氣體滲氮和離子滲氮。兩種工藝方法均使用氨氣作為滲氮介質，氮化過程都是滲氮介質分解出活性氮原子、活性氮原子被零件滲氮表面吸收、零件滲氮表面與內部氮元素存在濃度梯度發生擴散過程，氮化過程機理相同。
離子滲氮是將工件置于輝光放電的真空容器中以工件為陰極、金屬工湖北離子氮化爐制造裝為陽極，容器內通入稀薄的氨氣在直流高壓電場的作用下使氨氣電離成離子高速轟擊工件陰極表面，并在工件表面失去能量被吸收的過程。
